七月初,今年三月成立的沪海微电子装备有限公司一行十人抵达蓉城,刚下飞机就直奔野火实验室参观访问。带队的,是公司总经理张淑心女士,她是燕清大学热能工程系毕业,工学学士,比李云野大了五岁。
一见面,张淑心就对李云野笑道:“李院士,咱们是校友,我比你早毕业几年,早就听闻你的事迹,今天算是见到真人了。”
“张总,都是校友就不用太客气!”李云野开口笑道,心里暗暗猜测张淑心此行的目的。
一番参观下来,众人回到会客室,张淑心道:“李院士,这次我们主要是求援来了,沪海微电子新立,技术力量薄弱,资金也不足,所以,我们想与野火实验室达成技术协作,共同研发制造光刻机与封测光刻机。”
李云野想了想道:“光刻机的制造不是一家单位能够完成的,需要多家单位的通力协作,不介意的话,能否简略介绍下贵公司目前的技术力量?”
张淑心笑道:“当然。我公司目前有五百多人的科研队伍,在光学、机械、电气控制、微环境等学科具备软硬件的研发、测试技术和实力,可进行光刻机的设计、制造集成、测试和工艺试验,同时,我们与国内多家单位达成了技术协作协定,如燕京国望,国科精密,华卓精科,之江启尔机电等企业。”
“目前的研制工作中,我们采用的还是深紫外光光源系统,预计明年中即可研发出成熟的130纳米投影光刻机,更先进的90纳米技术正在预研当中。”
李云野笑了,道:“看来,张总是冲着EUV光源技术来的。”
“华科院EUV技术的消息我们确实知道,但不清楚具体情况,听说整个研发团队都搬到了野火实验室,所以,我们就来了。”
李云野站了起来,道:“这样吧,请大家一起到半导体设备公司看看,EUV团队的具体研发情况,请成院士给大家解说。”
众人点头,跟着李云野走出会客室。
野火半导体设备有限公司并没有另行选址,只不过是多了块牌子而已,人还是那些人,胡博实压根就不在乎头上的那顶总经理帽子,所有行政事务实际上还是郑言派人在打理。
李云野一行刚走进四车间,就见胡博实正站在屠洪身前,喷吐着唾沫星子吼道:“杀猪的,是你拍着胸脯说没问题的,现在怎么说?”
屠洪涨红了脸,昂着头却不说话。
成创天在一旁劝道:“老胡,年轻人经验不足难免失手,一点精度问题不至于此,再说老屠也不是有意的。”
“老成,你别替他说话,杀猪匠向来不服人,这批零件精度不达标,他是有责任的。”
屠洪瞪圆了眼,道:“我几时推卸过责任?胡子,是我的错,造成的损失从我工资里扣,我这就去返工,保证不耽误你的进度!”说完,气哼哼地转身就走,迎面撞见李云野一行,他也不招呼,摆摆手就大步走了。
胡、成二人也看见了李云野一行,迎了上来。
李云野给二人介绍张淑心一行后,问道:“胡老,屠总工那边出了什么事?”
胡博实摇摇头道:“老屠那边招了批才出校门的新人,一个个眼高手低的,捅了点漏子,不大。”
李云野一听,也没放在心上,转而对成创天道:“成院,张总是慕你EUV光源来的,接下来的事情就归您了。”
成创天趋前一步拉住李云野的胳膊,笑道:“好家伙,都送上门了,别再想溜!”说完又转头对张淑心道:“EUV光源还是这小子给的基础,可这小子就负责挖坑,看人在坑里跳他负责在坑上笑。”
这番话把在场众人都给说乐了。
张淑心心里叹息,不能比啊!这野火实验室随便走到哪,碰到个老的不是院士就是总师,还有李云野这个妖孽!
一行人换装除尘,进了成创天的实验室,参观、了解一番后,张淑心在现场就坦陈了自家公司目前的技术水平及研发进度。
成创天道:“基于深紫外光技术,90纳米光源系统我们能够提供,但EUV技术,目前的困难还很多,离成功还早。”
李云野随口问道:“目前有哪些困难?”
成创天道:“很多,我简单举几个例子:稳定性、碎片减缓、功率调节、转换效率等等。解决这些问题需要投入大量的成本,而且几年内都未必有所突破,比如,制造一个EUV泵激光器,估计就需要上千万元的研发资金;另外,像预脉冲技术的进步也非常关键,这也需要长期、持续的投入,反复实验才能得出正确的预脉冲频率。”
张淑心心里多少有点失望,光刻机制造领域,90纳米是个坎,跨过这一步,将对公司的技术及市场带来莫大的好处。
听成创天道:“不过,目前深紫外光技术远未达到极限,理论测试,45纳米或者更小,比如28纳米或更低一点都极有可能。”
张淑心闻言,精神一振,是啊,EUV技术研发难度太大,研发成本更是高昂,现实可行的还是深紫外光技术,如果真如成院士所说,那深紫外光技术的发展前景还是很可观的。
想到这,张淑心道:“成院士,您方才说,你们能提供90纳米光源系统?”
成创天点头道:“可以,但光有光源系统可不够,象镜头、工件台、浸没系统等关键子系统,以及光刻配套设施,包括光刻胶、光掩模版、涂胶显影设备等,这些都需要大量的研发时间,而且,资金也不能断。这些,野火实验室可包不了。”
张淑心却欢喜道:“能解决光源系统,就是天大的好消息了,这样一来,我们可以暂停130纳米的技术研发,全力攻关90纳米光刻机,关键子系统与配套设施,我们还有数家协作企业正在加紧研发当中。”
李云野听了,插话道:“张总,我觉得贵公司的130纳米技术既然成功在即,那还是先完成为好,在此基础上再攻关90纳米技术,更有把握些。”
张淑心笑道:“一时激动,多谢李院士提醒!”
李云野笑着摇摇头,道:“关于两家合作的事,我方技术方面由成院士作主,其他则由实验室郑主任负责。”
一直跟着没开口郑言主任这时道:“合作方式有几种,等会我们可以细谈。”
张淑心松了口气,道:“还有一个问题,不知道野火实验室有没有光刻胶项目?”
李云野道:“高分子材料的研究我们才立项不久,光刻胶是其中一项,但光引发剂、光增感剂、光致产酸剂及光刻胶树脂等专用化学品原料为国外垄断,我们研究的时间不长,还没有取得多大的进展。”
张淑心了解的点点头。
接下来洽谈合作的事,就由郑言他们负责,李云野先行告辞。
不知不觉中,在实验室一待就是两个多月,是时候返回燕京了,黄昶当初要他面壁一年,其实不过是提醒他:首先要理顺实验室科研立项的规章制度;再次,实验室对外合作的机制也要建立起来;最后,技术转化与产业衔接要有机结合,为打造西部半导体制造中心闯出一条路。
国家每年划拨五亿、持续五年,又减免税负五年,而且,华科院及多家科研机构在人才方面也是大力支持,野火实验室事实上承载着国内半导体产业突破重围的殷切希望。
…………
二OO二年七月十二日,周五。
李云野回到燕京,这一天,也是野火影视出品的电影《家国》的首映式。所以,下午刚到家,岑诗霜就逼着李云野洗澡换衣,等从不穿西服的李云野别别扭扭地套上一身藏青色西服时,手脚都不知放哪才好。
岑诗霜让李云野站好,后退几步,绕着李云野转了个圈,道:“挺潇洒的,我就奇了怪,这么好的西装你怎么就不愿意穿!来,走两步看看。”
李云野额头冒出了细密的汗珠,又觉领带勒得有点紧,头颈左右扭了扭,迈动步子走了两步,把个岑诗霜乐得倒在沙发上直抽抽:李云野这两步,手脚居然走了个同边!
下午六点半,岑诗霜挽着重新换了身唐装的李云野出了门,乘车直奔首映现场:燕都电影院。
今年是华夏影视界全面对抗海外大片之年,去年十二月末上映的《大腕》打响了第一枪,国内取得了近四千万元的票房成绩,在近几年国内影视一片萧条的市场环境中,可谓一个开门红……
车上,岑诗霜给李云野大致讲了讲国内电影市场的一些情况,免得在记者面前出丑,再加上,野火影视至今出品的几部电影都获得了好评,今年年中上映的《家国》,也是广大影迷期待的重点,再加上前有《寻亲》的例子,对野火影视出品的战争片,影迷们也推高了心中的期望值。
红毯仪式,李云野和岑诗霜是压轴出场的,走的时候,岑诗霜还特意放慢了脚步,引来四周影迷一阵阵地欢呼,记者拍照的闪光灯差点晃瞎了李云野的双眼。
没办法,李云野大编剧的名头实在响亮,本身又是大科学家,兼之是首次出席电影首映礼,想不引起关注都不行。
好不容易走进影院大门,迎面上来迎接的就是本片导演木杨,他大笑道:“总算把大院士给请来了,还是夫人路线管用!”
李云野笑道:“是啊!不然不给做饭,这可是致命威胁!”
木杨闻言,哈哈大笑起来。