实验室一期工程完成后,半导体项目就占了约三分之二的面积,五个特别建造的实验厂房成了项目的主体建筑。
李云野和埃文在胡博实的陪同下走完五个厂房,回到办公室时,已经快下午一点了。工作人员拿来盒饭,几人草草吃过,李云野道:“胡老师,半导体项目现在一共有多少人?”
胡博实道:“现在有九百三十八人,其中,华芯国际有一个三十七人的团队;华科院光电技术研究所有五十八人,带队的是程力泉院士;另外,陈原院士的五十六人团队也入驻了实验室,对外打的是华科院石墨烯研究院的名号;此外,航空航天精密机械研究所由屠洪总工带队,一共有八十一人。”
李云野皱眉道:“这么说,真正属于实验室的人,不过七百人多一点,太少了。”
胡博实却摇头道:“我们研究的主要是工艺技术,具体设备的制造,不可能靠我们自身来进行,硅晶圆的生产流程包括提炼与提纯、单晶硅生长、晶圆成型三大环节,每个环节所需的设备都不在少数,尤其是晶圆成型环节,光刻机的制造就需要成千上万个零件,这需要依靠众多的配套厂商,有些配件还需要进口。所以,就是工艺技术,我们也只能择重点进行攻关。”
李云野知道胡博实说的是实情,想了想问道:“光刻机的研究,有什么新的进展?”
“运动平台是一大难点,目前国际最先进的光刻机运动平台全部采用磁浮技术,这样才能精密控制六个自由度的运动,相比我们早期采用的气浮+线性马达技术,技术上反而简单一些,但我们的机械加工工艺却达不到精度要求。这方面,我们和沪海微电子及燕京精科达成了技术互换协议,燕京精科正在全力研发工件台。”
“另一个难点就是曝光系统,程力泉院士正倾力于EUV曝光系统,只是目前的进展不大。”
胡博实细数和实验室达成合作协议的国内厂家,足足有二十七家之多,这让李云野庆幸不已,也就胡博实,对国内半导体行业非常清楚。
“配套厂家虽多,技术水平却有高低参差,发展很不平衡,大多数还停留在八十年代末期的水准,只有数家历经技术引进,达到了国外九十年代初的水平。就是现有的技术人员,不少人的知识体系也跟不上,索斯博士办的培训班可帮了大忙。”
李云野想起索斯博士与埃文的三年之约,便道:“胡老师,索斯博士在华的时间不太多了,你们要抓紧时间多向他请教。”
胡博实笑着点点头,这是应该的,对于索斯博士,几堂课下来,没人不服的。
胡博实走后,李云野和埃文又分别去看望了程力泉与陈原院士。这两位是研究狂人,自从到了实验室,良好的研究环境让二人兴奋不已,自然一头扎进工作,轻易不出实验室。
所以,二人一见到李云野,闲话没有,陈原院士开口就道:“小李,实验证明,石墨烯的电气性能虽然很好,但有两个主要的技术问题:一是没有带隙,石墨烯开关无法关闭;二是必须产生高质量的晶体,并与现有的互补金属氧化物半导体(CMOS)器件兼容。为此,我又制备了硅烯、锗烯这两种材料进行比对,但石墨烯还是最有发展潜力。”
李云野笑道:“陈院士,石墨烯这种材料的物理特性还需要大量的实验来验证,这是您的工作,小子我可不敢乱说。”
陈原不满道:“你小子,打从我到实验室,就没见过你一次,现在见了,你又藏着掖着的。”
李云野无奈,只好道:“我认为,石墨烯这种材料,可以尝试作为硅的一种增强剂,石墨烯保护层可以用来提高互连的可靠性与性能。这是目前最有可能突破的应用技术,也有着不错的市场前景。另外,您是研究材料的,舒老您应该认识,他曾跟我说过,替代硅材料不一定要选石墨烯,碳纳米管也有很好的发展前景。”
陈原笑道:“我是石墨烯研究院院长,你却让我去搞碳纳米管!还是让老舒去弄吧。我倒觉得,象你刚才所说,将石墨烯与不同的材料结合起来,或许会有令人兴奋的发现。”
程力泉是第一次见李云野,不过倒是闻名久矣。此时见二人交谈告一段落,便插话道:“小李,别的我也不说,现在就是镜片问题,长光所研制的镜片还是不能满足要求,你看能不能从德国进口一些镜片?”
李云野叹了口气道:“这我可没办法。程院士,现在研究到哪一步了?”
“极限条件下,得益于EUV较短的波长,我相信可以达到10nm或者更小的芯片制程,目前,采有浸润技术,实验中已经达到了65nm制程,这还是采用的近紫外光源,只是受限于曝光系统,更先进的制程还达不到。”
“那,您预计何时能制造出我们自己的先进光刻机?”
程力泉摇摇头:“光源问题不大,但你还是操心下工件台吧,精科那边还不知道愁成啥样了。精科的关汉铮总工对我说,院里弄出了EUV技术,对他的压力可着实不小。另外,光刻机制造涉及到数学、光学、流体力学、高分子物理与化学、表面物理与化学、精密仪器、机械、自动化、软件、图像识别领域等顶尖技术,我们的基础太差,五至十年时间都是最乐观的估计。”
李云野一听,也没了想法。资金和人员方面,他还可以想想办法,但技术方面,可没有什么捷径可走,有些方面,还得依靠国家整体科技水平的进步,来拉升一个台阶。
埃文在一旁道:“实验室展开正式研究工作时间还短,能做到现在这样,已经不错了。”
…………
接下来的日子里,李云野在全面了解了二期工程的进度后,其余时间就忙于野火渲染器的编码工作中,有时也会和郑老等人探讨些数学问题,其他的,就全交给埃文了。
埃文也正式就任野火实验室主任兼首席科学家,开始全盘接管实验室的日常工作。
只是让李云野奇怪的是,来了几天,也没见屠洪老爷子的人影,去找了几次,精研所的人都说屠总工有事外出了。
…………
二十一号是周未,下午五点,李云野陪着埃文和索斯,三人一同去了蓉城市区,打算逛逛蓉城的宽窄巷子,见识下当地的人文风光,顺便品尝天下闻名的蓉城美食。
索斯很高兴,他来到实验室后,一直听人说起宽窄巷子,心里很是向往,只是工作繁忙,一直抽不出时间来。
路上,爱好华夏文化并颇有研究心得的索斯博士,开始给埃文普及蓉城的历史知识,尤其是说到杜甫草堂时,更是激动,顺嘴还来了句“晓看红湿处,花重锦官城。”埃文听得是一愣一愣的。
古色古香,民风浓郁的宽窄巷子让三人大开眼界,青瓦木楼,藤蔓牵连,窄巷幽幽,古木蔽空;人们悠闲散步,或有几人围坐对弈,或有数人戏腔绵长;又有麻将声回荡空中,一股莫名的香昧就随着这噼啪的碰牌声钻入鼻孔……
索斯对街边的采耳极有兴趣,还尝试了一把,只是差点没睡着,闹了个小笑话。埃文瞧见街边拐角一个破旧的剃头铺子,走过去饶有兴致的看头发斑白的老师傅给人刮脸剃头……
不知不觉,三人一逛就是三个多小时,眼见夜色降临,华灯初上,人也越来越多,才兴尽往回走,三人的肚子里也塞满了各种美食,索斯一边狂喝水一边道:“麻得受不了,辣得顶不住,可就是太好吃了。”
埃文笑道:“弗兰克,这才是原汁原味的华夏美食,不像云野这小子,他的菜谱里除了辣椒就没别的。”
李云野就嘿嘿一乐,索斯道:“老蝙蝠,你看这里的人,个个悠闲随意,吃的玩的应有尽有,真是个养老的好地方。”
埃文道:“那你就多来几次,以后回去了,就难得来了。”
索斯嘴一闭,不接这话。
李云野看了看埃文,埃文轻轻摇了摇头,示意不着急。
差不多九点多,三人回到实验室,李云野在大门外下了车,说要去买点方便面当宵夜,埃文和索斯则先进了大门。
十多分钟后,李云野提着箱方便面往回走,离着大门还有三十来米远,就听一人嘶哑着嗓子吼道:“屠老头,今儿你就是躲到一万八千米深的地下,我也要把你挖出来。”
这谁啊,听声音似乎颇有熟悉之感,只是嘶哑了许多。
那人继续吼着:“你个姓屠的杀猪匠,我不找你借钱,也不找你吃请,几千里地从燕京追到这,你连个面也不见,小看谁呐!”
有人围了过来,也不嫌事大,一旁起哄道:“胖娃儿,继续噻!骂狠点,不然人不得出来。”
那人来了劲,声音越发大了起来:“杀猪的!听好喽!你要是再不见小爷我,明天我弄头死猪过来,就说是你偷的。”
旁人大声起哄:“一定要是母滴!”随即一阵哄笑声。
这时,就听一声爆喝,已快步赶到的李云野又见到了熟悉的一幕:屠洪总工须发皆张,左手大号扳手,右手大号管钳,气势汹汹从大门内冲了出来。
两名门卫从窗户里伸出个头,嘻嘻哈哈地看着。
大骂之人一声惊叫,分开人群滚了出来,之所以是滚,只因这人实在太胖了,灯光下,那张汗涔涔的脸也太熟悉了。
李云野扔掉手里的方便面,冲上去一把抱住胖子,欢声大叫:“胖王!”
这人正是多年不见、绰号胖王的损友王安和。